1．1 洁净室

洁净室(Clean Room)，亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室是指空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

1．2 洁净区

洁净区（Clean Zone）是指空气悬浮粒子浓度受控的限定区间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。

1．3 悬浮粒子

悬浮粒子（Airborne Particle）是指用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1μm～5μm的固体和液体粒子，但不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。

1．4 超微粒子

超微粒子是指具有当量直径小于0.1μm的粒子。

1．5 微粒子

微粒子是指具有当量直径大于5μm的粒子。

1．6 含尘浓度

含尘浓度是指单位体积中悬浮粒子的颗数。

1．7 洁净度

洁净度是指以单位体积中大于或等于某粒径粒子的数量来区分的洁净程度